Atomlagenabscheidung
Bei der Atomlagenabscheidung handelt es sich um ein verändertes CVD-Verfahren, das u.a. erhöhte Energiedichten bei Batteriezellen ermöglicht.
Prozesstechnologie
Hardwaretechnologie
Industrielle Forschung
TRL4
Bei der Atomlagenabscheidung handelt es sich um ein verändertes CVD-Verfahren, das u.a. erhöhte Energiedichten bei Batteriezellen ermöglicht.